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1100°C Vakuumofen
VBF-1200X-H8
Der VBF-1200X-H8 ist ein kompakter Vakuumofen. Er ist mit einer horizontal sitzenden Quarzrohrkammer von 7,5" ID x 13,4" L ausgestattet.
Wassergekühlte Edelstahl-Vakuumflansche mit Ventilen sind installiert, um über eine Turbopumpe ein Vakuum von bis zu 10-5 Torr zu erreichen.
Sie ist für das Kalzinieren oder Ausglühen von Halbleiterwafern (bis zu 6") unter Vakuum oder verschiedenen anderen Gasatmosphären mit einer Temperatur von bis zu 1100°C ausgelegt.
Er kann auch als Vakuumlötofen verwendet werden.
Arbeitstemperatur:
- <= 1000 °C kontinuierlich
- Max. 1100 °C, < 30 Minuten
- Temperatur-Gleichmäßigkeit: +/- 2°C
- Hinweis: <= 1150 °C kontinuierlich ist auf Anfrage mit Quarzrohr der Qualität GE214 gegen Aufpreis erhältlich
Weitere technische Details über VBF-1200X-H8 finden Sie hier
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xtra GmbH, Carl-Zeiss Str. 7/1, DE 71229 Leonberg
Zertifiziert nach DIN EN ISO9001:2015
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